
| Gitterplade | 20um |
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| Termisk ekspansion | 10,6 x 10-6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Opløsning | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Gentagelsesnøjagtighed | ±1 trin | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks. hastighed m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Udgangstype | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks. acceleration | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Beskyttelse | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Strømforsyning | 60mA Maks. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Faseforskydning | 90±5° elektrisk | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Driftstemperatur | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Opbevaringstemperatur | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Fugtighed | 100% ikke kondenseret |