Gitterplade | 20um |
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Termisk ekspansion | 10,6 x 10-6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Opløsning | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Gentagelsesnøjagtighed | ±1 trin | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Maks. hastighed m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Udgangstype | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Maks. acceleration | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Beskyttelse | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Strømforsyning | 60mA Maks. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Faseforskydning | 90°±5° elektrisk | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Driftstemperatur | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Opbevaringstemperatur | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Fugtighed | 100% ikke kondenseret |